供应超纯气体净化器_北京北氧特气工程技术有限公司

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北京北氧特气工程技术有限公司

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产品目录

供应超纯气体净化器

发布时间：2020年09月27日
有效期：2021年03月29日

详细说明

超纯气体净化器是以≥99.99%的高超惰性气体（N2、Ar、Nc、Hc、Xe）为原料，根据被提纯气体的不同，以高性能合金吸气剂为吸附剂，采用先进的净化技术，在一定温度下激活吸气剂，原料气通过吸气剂时，原料气中的不纯气体由吸气剂吸收，使原料气体净化至超纯气体,从而达到净化惰性气体的目的。

◆适用范围：大规格集成电路的研制与生产混合气、半导体工艺制备、稀有金属加工、特种灯制造以及激光器、溅射、气相色谱分析、超纯气体分析、研发、标准气体的配制、高纯单晶硅冶炼、拉制、晶片外延保护气体。

◆处理气体介质：氢气、氮气、氩气及其他惰性气体。

◆产品气流量：0.001-3000Nm3/h

◆产品气纯度：99.999-99.9999999%